基本信息

边长                                                                  182.2x183.75mm±0.2mm

厚度                                                                    130±8μm

TTV                                                                     ≤20μm

线痕                                                                     ≤13μm

电阻率                                                    0.9-1.4Ω.cm

少子寿命                                                  ≥1500μs

氧含量                                                    ≤ 5.5E + 17 at/cm³（11ppm）

碳含量                                                     ≤ 5E + 16 at/cm³（1ppm）