基本信息

边长                                                                  210±0.25

厚度                                                                    145/150±8μm

TTV                                                                     ≤25μm

线痕                                                                     ≤13μm

电阻率                                                    0.4-1.1Ω.cm

少子寿命                                                  ≥80μs

氧含量                                                    ≤ 7.25E + 17 at/cm³（14.5ppm）

碳含量                                                     ≤ 5E + 16 at/cm³（1ppm）