基本信息
边长 210.1±0.15 105.05±0.15
厚度 110/120+20μm-10μm
TTV ≤27μm
线痕 ≤15μm
电阻率 0.3-2.1Ω.cm
少子寿命 ≥1000μs
氧含量 ≤ 7E + 17 at/cm³(14ppm)
碳含量 ≤ 5E + 16 at/cm³(1ppm)