基本信息

边长                                                                  182.2±0.25   187.75±0.25

厚度                                                                    130±8μm

TTV                                                                     ≤20μm

线痕                                                                     ≤13μm

电阻率                                                    4-28Ω.cm

少子寿命                                                  ≥3000μs

氧含量                                                    ≤ 5.75E + 17 at/cm³（11.5ppm）

碳含量                                                     ≤ 5E + 16 at/cm³（1ppm）